El método de tecnología de preparación de materia prima del objetivo de titanio por pulverización catódica con magnetrón se puede dividir en dos categorías según el proceso de producción: palanquilla de fusión por haz de electrones (denominada palanquilla EB) y palanquilla de fusión en horno de arco eléctrico consumible al vacío (denominada palanquilla (VAR) ).
Durante el proceso de preparación del objetivo, además de controlar estrictamente la pureza, densidad, tamaño de grano y orientación del cristal del material, las condiciones del proceso de tratamiento térmico y los procesos de moldeo posteriores también deben controlarse estrictamente para garantizar la calidad del objetivo.
Para las materias primas de titanio de alta pureza, la electrólisis por fusión generalmente se usa para eliminar elementos impuros con un alto punto de fusión en la matriz de titanio, y luego se usa la fusión por haz de electrones al vacío para una mayor purificación.
La fusión por haz de electrones al vacío utiliza haces de electrones de alta energía para bombardear la superficie del metal y luego la temperatura aumenta gradualmente hasta que el metal se funde. Los elementos con alta presión de vapor se volatilizarán preferentemente, mientras que los elementos con baja presión de vapor permanecen en la masa fundida. La interacción entre los elementos de impureza y la matriz Cuanto mayor sea la diferencia en la presión de vapor, mejor será el efecto de purificación.
La ventaja del refinado al vacío después de la fusión es eliminar elementos impurezas en la matriz de titanio sin introducir otras impurezas. Por lo tanto, cuando se funde titanio electrolítico al 99,99% mediante un haz de electrones en un ambiente de alto vacío (por encima de 10-4), los elementos de impureza (Fe, Co, Cu) en la materia prima cuya presión de vapor saturado es mayor que la del vapor saturado. La presión del elemento de titanio se volatilizará preferentemente y reducirá el contenido de impurezas en la matriz para lograr el propósito de purificación.
La combinación de los dos métodos puede obtener metal titanio de alta pureza con una pureza de más de 99,995. Para materias primas de titanio con una pureza del 99,9%, a menudo se utiliza titanio esponjoso de grado 0, que se funde en un horno de arco eléctrico consumible al vacío y luego se forja en caliente para formar una palanquilla de tamaño pequeño. Las materias primas de titanio metálico preparadas mediante estos dos métodos controlan la microestructura de toda la superficie de pulverización catódica para que sea consistente mediante deformación termomecánica, y luego se procesan en objetivos de titanio de pulverización catódica con magnetrón para preparar circuitos integrados mediante procesos como mecanizado, encuadernación, limpieza y empaquetado.
